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期刊简介

QIKANJIANJIE

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期刊名称：上海计量测试维普收录

主办单位：上海市计量测试技术研究院、上海市计量测试学会、上海市计量协会
国内刊号：CN 31-1424/TB
国际刊号：ISSN 1673-2235
出刊周期：双月刊
级别：维普收录|万方收录|知网收录|超星收录
查重要求：15%以下论文查重
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精品论文

JINGPINLUNWEN

2022-03-05分析常见粗糙度测试方法的优点和劣势: 摘要:1.1表面粗糙度的定义晶圆表面实际轮廓形貌和理想表面形貌会存在一定偏差。表面粗糙度是指晶圆宏观表面上比较光滑平整，但在微观表面存在粗糙的情况[6]